高精密對(duì)位平臺(tái),可選中空設(shè)計(jì),采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)和SP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌,全套雷尼紹光柵,檢測(cè)精度0.1um,平面度≤8um,可配R軸旋轉(zhuǎn)軸,多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光熔覆加工等;
Tips:絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員。
高精密對(duì)位平臺(tái),可選中空設(shè)計(jì),采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)和SP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌,全套雷尼紹光柵,檢測(cè)精度0.1um,平面度≤8um,可配R軸旋轉(zhuǎn)軸,多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光熔覆加工等;
XY軸行程分別為:200-300mm (可定制)
重復(fù)定位精度±0.001mm
絕對(duì)定位精度±0.004mm
應(yīng)用行業(yè):晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光熔覆加工等;
注:絕對(duì)定位精度需通過(guò)軟件修正。
本文關(guān)鍵詞: xy軸對(duì)位平臺(tái) xy軸精密平臺(tái)