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精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定做廠家

代工各類(lèi)精密直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、半導(dǎo)體及檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

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  • XY軸精密對(duì)位平臺(tái)
  • 精密對(duì)位平臺(tái)

XY精密對(duì)位平臺(tái)

  • 一般環(huán)境使用
  • 高精密對(duì)位平臺(tái),可選中空設(shè)計(jì),采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)和SP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌,全套雷尼紹光柵,檢測(cè)精度0.1um,平面度≤8um,可配R軸旋轉(zhuǎn)軸,多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光熔覆加工等;

  • 產(chǎn)品參數(shù)

    Tips:絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員。

高精密對(duì)位平臺(tái),可選中空設(shè)計(jì),采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)和SP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌,全套雷尼紹光柵,檢測(cè)精度0.1um,平面度≤8um,可配R軸旋轉(zhuǎn)軸,多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光熔覆加工等;


XY軸行程分別為:200-300mm (可定制)

重復(fù)定位精度±0.001mm

絕對(duì)定位精度±0.004mm

應(yīng)用行業(yè):晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光熔覆加工等;

注:絕對(duì)定位精度需通過(guò)軟件修正。


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